风速及平衡性测试使用仪器和测试步骤

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　　使用仪器

　　无尘室里面使用的 HEPA/ULPA 滤网，其送出气流的速度多半都控制在 0.5m/s 以内，因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如 Shortridge Velgrid 16 点风速计。轮叶式风速计因使用范围不同，通常不在无尘室内使用。热线式风速计（ Hot Wire ）虽然高频响应良好，但是低速时〈 0.5m/s 以下〉准确性很低，因此不很适用，一般热反应风速计常用的是 Thermeister 式风速计。转轮式风速计由于本身重量问题，也不适用低速。检验仪器须经校正合格，且仍在有效期限内。

　　测试步骤

　　在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。取样点位于滤网下方 75-150mm 处。每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每 1 平方英尺取一点；若是使用多点式风速计，则每 4 平方英尺取一点。

　　每测量点必须取 5 秒的平均。依验收标准分析所有风速，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。记录所有原始数值，以及分析后的数值。重要的是在非单一流向型无尘室测试时，特别注意取样时风速计不可受到干扰，以免影响准确度。

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